玻屏研磨过程的数值仿真研究

摘要

玻屏研磨机构的驱动为恒定运动,但研磨盘与玻屏时刻处于动态接触状态,较难描述其运动,建立数学模型较为困难.根据研磨机构的刚体运动学规律,采用多种铰接方式:球铰、柱铰、十字铰与旋转铰,确定机构的简化计算模型,应用有限元软件LS_DYNA3D,根据大量的数值模拟实验和多次上线研磨试验,不断对数值模拟模型进行修正,得到了能基本体现研磨过程特点的数值仿真模型.并在此基础上定量分析了不同形状的研磨盘的研磨效果,从而为研磨盘的定型提供理论依据.