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万德安; 刘春节; 汲长志;
同济大学机械工程学院;
上海;
200092;
压电元件; 柔性铰链机构; 微型振动平台; 有限元仿真;
机译:基于压电的惯性驱动器的微型精密平台
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机译:压电薄膜振动器,使用该压电振动器的驱动单元和压电马达
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