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常丽敏; 齐共龙; 董庆伟;
空军航空大学;
吉林;
长春;
130022;
硅谐振压力传感器; 大气数据系统; 计算机;
机译:DETF石英谐振器与硅膜片结合设计谐振压力传感器
机译:具有在大气压力下运行的集成谐振器的微机械压力传感器
机译:基于结构“在蓝宝石上的结构”硅的压力传感器温度误差校正压力传感器温度误差的数字方法
机译:基于硅微压力传感器的微型空中数据系统的实现
机译:具有集成放大器的压阻式压力传感器,使用金属感应的横向结晶多晶硅实现。
机译:具有在大气压下工作的集成谐振器的微机械压力传感器
机译:基于硅谐振压力传感器的谐振器制造技术研究
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机译:大气压力传感器,具有该大气压力的硬盘驱动器,制造大气压力传感器的方法和测量大气压力的方法
机译:实现深沟槽中的大气光滑的侧壁和包含大气光滑的侧壁的高纵横比硅结构的方法
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