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黄荣玉; 牛文举; 韩建强;
中国计量大学机电工程学院;
杭州 310018;
谐振式传感器; 自调整; 周期测量法; 频率计;
机译:热激励谐振式硅微结构压力传感器温度场研究(英文)
机译:热激励谐振式硅微结构压力传感器温度场研究
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