MEMS惯性器件典型参数测试技术研究

摘要

论文介绍了MEMS的概念及典型MEMS器件的基本工作原理,选取了某款MEMS陀螺器件作为测试研究对象,分析了其测试参数,按照参数的特性对各个参数进行了分类,并研究了器件的典型参数性的测试方法.此外,论文提出了一种基于NI的PXI的MEMS陀螺器件测试平台,借助双轴速率转台、振动台以及温箱搭建了MEMS陀螺器件测试系统的硬件平台,对硬件平台的硬件选型进行了阐述.系统的软件部分采用LabVIEW语言编写,采用了模块化的思路对控制软件进行了模块划分,并对系统的测试软件部分的设计要点进行了论述.