用显微镜和数字摄像机检测样品表面缺陷

摘要

按标准化国际机构(ISO)10110—7：1996的判断，在生产光学元件的小公司中为测量表面缺陷而用显微镜图像比较器(MIC)的现行设计成本太高。本文所述为一种在大多数实验室应用的组件化易拆型MIC。此装置的应用通过对两个划痕和麻点缺陷的样品进行检测得以验证。