在表面张力和重力影响下回流微透镜的表面轮廓

摘要

介绍一种有限元方法，用它能计算软化光致抗蚀剂技术（回流技术）所成形折射微透镜的3-D表面轮廓。微透镜的几何形状可以是任意的。考虑了微透镜的表面张力和重力。重力对表面形状会有有利的影响，结果是能实现较小的焦点。微透镜参量给定时，用一种简单的比例规律，就能估算重力对轮廓形状的影响。将若干微透镜理论表面轮廓与用软化光致抗蚀剂技术所成形微透镜表面轮廓作了比较，它们的一致性良好。最后，证明这种方法对灵巧掩模折射微结构设计的实用性。