碳化硅（SiC）抛光工艺研究

摘要

摘要：碳化硅（SiC）作为一种优良的反射镜材料，已逐渐应用于红外光学系统之中。对碳化硅材料的加工方法做出研究和探讨，就碳化硅的抛光工艺研究进行详细的说明，分析影响抛光质量的原因，指出加工的难点所在，并给出相应的加工工艺。