阴极面板表面等离子清洗技术研究

摘要

多碱光电阴极Na2KSb（Cs）膜层的生长质量及阴极灵敏度与其阴极面板的表面活性、清洁度等紧密相关。阴极面板的传统清洗方法是利用酒石酸溶液进行浸泡并超声清洗，其清洗效率低、浪费资源、污染环境。在接触、了解了等离子清洗技术后，提出了一种利用等离子清洗的方法对阴极面板进行表面处理。试验结果表明，该清洗方法具有处理效率高、成本低、对环境无污染、提高阴极面板表面活性等优点。