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谭一云; 于虹; 黄庆安; 刘同庆;
东南大学,MEMS教育部重点实验室,南京,210096;
杨氏模量; 硅{100}表面; (2×1)dimer重构; 分子动力学;
机译:电流诱导的不同温度下沉积的多晶硅纳米薄膜的再结晶及其对压阻灵敏度和温度系数的影响
机译:尺寸,空位和温度对硅纳米带杨氏模量的影响
机译:对称性降低和表面弹性对纳米薄膜的杨氏模量和泊松比的影响
机译:电流诱导的重结晶对不同温度沉积多晶硅纳米薄膜压阻性能的影响
机译:石墨烯纳米薄膜对丙烯腈丁二烯苯乙烯结构,机械和电性能的影响
机译:不同沉积温度下多晶硅纳米薄膜的压阻灵敏度线性和电阻时间漂移
机译:电流重结晶对不同温度下沉积的多晶硅纳米薄膜压阻性能的影响
机译:用于在25°C至1200°C的温度下测定真空中的动态杨氏模量和内部摩擦的装置
机译:纳米薄膜杨氏模量测量装置及测量装置设计方法
机译:沉积硅系列纳米微粒薄膜的方法,硅系列纳米微粒薄膜和沉积硅系列纳米薄膜的装置
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