Integrated Product and Process Control for Sustainable Semiconductor Manufacturing

摘要

半导体制造是有几百复杂单位操作和它的一个生产序列被策略开发总是为保证没有缺点的产品的收益质问。在这份报纸，通过集成产品和过程控制的先进控制策略被建立。建议多尺度的计划为协调设备控制，进程控制和产品质量控制包含三层。在上面的层，联机控制表演评价被使用减少优秀变化并且最大化全面产品表演(OPP ) 。它用作监督控制在中间的层更新进程控制器的配方。过程控制器作为指数地加权的移动一般水准(EWMA ) 被设计拒绝骚乱的 run-to-run 控制器那例如用坏的过程移动，飘移和工具，被施加到操作。在这个过程的设备个别地被控制维持它的最佳的运作的地位并且最大化全面设备有效性(OEE ) ，基于过程控制器给的集合点。建议综合控制计划的功效通过案例研究被表明，在的地方两 OPP (为产品) 并且 OEE (为设备) 被提高。