用于微全分析系统的数字化微流控芯片的研究

摘要

研制出一种基于介质上电润湿(electrowetting-on-dielectric,EWOD)机制的可编程数字化微流控芯片.它采用"三明治"结构:受控离散液滴被夹在两极板之间;下极板以硅为衬底,掺杂多晶硅作为芯片微电极阵列,其上涂覆有Teflon(R) AF1600薄膜的SiO2作为疏水性介质层;上极板是涂覆有Teflon(R) AF1600疏水薄膜的透明电极.通过分析数字化微流控系统的基本操作(离散液滴的传输、拆分及混合)的物理机理和模拟优化,在35 V低驱动电压下实现了约0.35 μl和0.45 μl去离子水离散液滴的传输和合并,并在70 V驱动电压下实现了0.8 μl液滴的拆分等操作.