滚动接触疲劳法评定硬质薄膜的结合强度

摘要

工件大多在交变应力下服役，薄膜的剥落是一个长时间高周次过程，其失效过程属疲劳失效。采用高周次界面疲劳强度作为膜基结合强度的判据；以膜基界面处的切应力幅△て表征膜基界面疲劳强度。采用该方法对气相沉积硬质薄膜的结合强度进行了评定；并与划痕法比较。结果表明；薄膜在膜基界面处剥落，该方法对界面因素十分敏感而对非界面因素不敏感，因而是一个有效的测量膜基界面结合强度的方法。可用来比较不同方法制备的不同成分和硬度的膜基结合强度。也指出了提高膜基结合强度的途径。