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磁过滤的阴极弧等离子体源及其薄膜制备

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摘要

采用磁过滤弯管滤除阴极弧等离子体中的大颗粒,研究了偏压和导向磁场对磁过滤弯管传输效率的影响.建立了磁过滤弯管中正交电场和磁场下的等离子体扩散模型,分析各个参数对等离子体传输的作用规律.采用磁过滤的阴极弧等离子体源制备了NbN膜,研究了沉积温度对膜层特性的影响.

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来源
《中国表面工程》 |2002年第2期|11-15，20|共6页
作者
张涛; 侯君达; 刘志国; 张一聪;
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作者单位

北京师范大学,低能核物理研究所,北京,100875;

北京师范大学,低能核物理研究所,北京,100875;

北京师范大学,低能核物理研究所,北京,100875;

北京市辐射中心,北京,100875;

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正文语种 chi
中图分类离子发射、离子发射阴极;表面物理学;
关键词
阴极弧等离子体; 扩散; 薄膜;

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