基底材料和温度对CVD金刚石沉积的影响

摘要

使用热丝CVD装置在钢渗铬层、三氧化二铝、YG8硬质合金基底上沉积了金刚石膜.结果表明,在700~900℃温度范围内,热稳定性好的基底材料有利于金刚石晶核的形成.硬质合金和三氧化二铝的热稳定性都比钢渗铬层好,在700~900 ℃能获得107cm-2以上的形核密度,而钢渗铬层超过800 ℃后,形核密度低于106 cm-2.