Ti/TiN和Ni/TiN多层膜的制备和小载荷下摩擦性能研究

摘要

在Si(100)基底上制备了Ti/TiN和Ni/TiN两种多层膜以及TiN单层膜,利用X射线衍射,WYKO表面形貌仪,俄歇电子能谱等对薄膜进行了分析.分别测试了3种薄膜的粘附力,以及在μN和mN量级载荷下的摩擦力.研究了相对湿度和载荷等条件对3种薄膜的粘附力和摩擦力的影响.结果表明3种薄膜的粘附力均随着相对湿度的增大而增大,3种薄膜的摩擦力均随着载荷增大而增大.Ti/TiN和Ni/TiN膜在μN和mN量级载荷下的摩擦力均小于TiN膜.两种多层膜的摩擦性能较TiN膜有所改善.