CG─60离子注入机及应用

摘要

离子束表面改性技术在工业上具有广阔的应用前景。CG─60离子注入机充分考虑了工业应用的要求，离子源束斑大、均匀性好，带电子枪加热镀膜装置的多功能靶室容积大、功能全，多自由度靶盘及卡盘适应范围广，并带有水冷装置。机器功能完善，可进行离子注入、镀膜、反冲注入和离子束辅助沉积等多种工作。利用该设备为六十多个单位的刀具、模具、精密零件等进行了离子束表面强化和改性处理，取得了明显效果，大量实例表明被处理件的耐磨、抗蚀、耐热等性能显著提高，使用寿命提高了1～10倍。