微等离子体氧化制备TiO_2薄膜的结构特性

摘要

利用微等离子体氧化方法在纯Ti金属表面生长出一层厚度达20 mm的陶瓷氧化膜,并用X射线衍射、扫描电镜初步研究了氧化膜的组织结构和表面形貌。在不同电解质溶液条件下,得到3种不同类型结构组成的氧化膜:单一TiO2的锐钛型结构、TiO2锐钛型+金红石型的混合相结构、单一TiO2金红石结构。TiO2单一的锐钛型结构的氧化膜薄膜比较粗糙,TiO2金红石结构的氧化膜表面比较平滑,而混合相结构陶瓷膜的表面层为疏松的锐钛型结构TiO2,亚表层为金红石结构的TiO2。