例61等离子增强化学气相沉积DLC薄膜在汽车零部件上的应用

摘要

等离子增强化学气相沉积(PECVD)是借助微波、磁场、射频等使含有薄膜组成的气体在电场中成为等离子体状态,产生化学上非常活泼的激发态分子、原子、离子和原子团等促进化学反应,在工件表面上形成薄膜的技术。该技术的主要优点是沉积温度低、涂层表面光滑致密、摩擦因数极低、可沉积的材料范围广、涂层工艺多样性、组合性强。PECVD沉积的DLC薄膜呈sp^3和sp^2键杂化混合组成的非晶态组织,具有高硬度、极低摩擦因数、优良的耐磨性、耐腐性、化学惰性等特点。