离子注入碳化硅实现低温下外延合成石墨烯

摘要

通过高温加热碳化硅在其表面上外延形成均匀、大面积的石墨烯,是目前石墨烯制备行业最主要的方法之一。但由于碳化硅具有超高的热解温度,给设备方面提出了很大的挑战,限制了该方法在实际生产中的应用。