单组份切割液在切割过程中对硅片表面质量的影响

摘要

使用金刚线切割硅片的过程中,切割液是重要的加工辅材之一,它起到在切割过程中润滑和冷却金刚线网的作用,其润滑和冷却金刚线网的能力强弱对硅片切割质量有着极为直观的影响.本文综合阐述了单组份切割液的分类,单组份切割液体对切割方法的影响原理.并且综合探讨了切割液在切割过程中地渗透性质、润滑特点、导电性质、切割液粘腻程度对切割液在切割进程中对硅片表面的影响.根据切割液的种类和切割方法的进步以及切割液本身所具有的特性,对其发生的作用做了一个综合的展望.