电子束炉熔炼多晶硅除硼和铁杂质的研究

摘要

为去除多晶硅中的B和Fe元素,人们必须对硅原料进行高温增氧预处理,在熔炼坩埚中敷设两块叠放的高纯SiC板,对其进行电子束炉熔炼提纯.研究表明,对粒径小于25 mm块状硅料进行增氧预处理和电子束炉熔炼提纯后,B、Fe杂质元素明显降低,B和Fe去除率分别可达99.25%和99.7%;在熔炼坩埚中敷设两块叠放的高纯SiC板,可以明显提高B、P的去除率,降低熔炼能耗,熔炼直接能耗为20 kW·h/kg;而对硅块料增氧预处理,硅熔炼的挥发损失较大.