原子层沉积法制备新型功能纳米材料获系列进展

摘要

原子层沉积技术(atomic layer deposition)是近年来快速发展的一种先进薄膜沉积技术,具有极佳的均匀性、台阶覆盖率、保形性、重复性以及在原子尺度精确控制厚度等突出优点。利用原子层沉积技术设计合成新型功能纳米材料,开发其在能源、催化、环境等领域的应用是当前的研究热点。在中国科学院、国家自然科学基金委、科技部的大力支持下,