电子级多晶硅还原炉用电极改造研究

摘要

本论文通过还原炉电极拉弧、电极击穿、电极冷却水反窜等问题分析,提出了新结构电极的设计方案,通过减小原电极锥度,增加电极接触面积和锥形头部的最小厚度,新结构电极在试验应用中取得了很好的效果,不仅解决了技术上的问题,同时降低了安全风险和生产成本,节能降耗效果显著,从而保证了多晶硅的产量和质量.