TiO2／SiO2复合薄膜的光学性能研究

摘要

本文采用射频磁控溅射方法制备了TiO2／SiO2复合薄膜。采用XRD、台阶仪和UV—ViS等测试手段表征薄膜的晶体结构、膜厚和光学性能。系统研究了溅射气氛、溅射时间以及踺掺杂量对TiO2／SiO2复合薄膜光学性能的影响。结果表明，TiO2／SiO2薄膜对紫外波段光波吸收强度与溅射时间成正比，与氧气含量成反比。随着氧气含量的降低，薄膜的光波吸收限？g向长波方向移动，即吸收波长呈现出明显的“红移”。随着Si、Ti摩尔比的增加，薄膜的光波吸收限？g向短波方向移动，即吸收波长呈现出明显的“蓝移”。