软脆电子材料准接触抛光的表面质量与精度

摘要

1 前言 随着电子工业的迅速发展,性能优异的新型电子材料不断出现,例如GaAs、InP等材料。它们在制作小功率、高频、高温、低温、光电、微波器件和集成电路等许多领域中,与传统的硅、锗等材料相比,具有无可比拟的优良特性。作为光纤通讯材料,它们的传输损耗小,色散小,对锗探测器具有最大敏感区域。在做光电池时。