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超精密加工精度分析

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摘要

介绍超精密加工技术概要;从加工精度角度出发分析超精密加工技术国内外动态及今后发展的目标;探讨进一步提高主轴和导轨运动精度以及微进给和超精密测量精度等的可能性和关键技术问题;展望超精密加工技术在微细加工领域的发展前景.

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来源
《中国机械工程》|1999年第2期|203-206|共4页
作者
戴一帆; 李圣怡;
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作者单位

长沙市,410073,国防科技大学精密机械与仪器系;

长沙市,410073,国防科技大学;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类机械加工精度理论;
关键词
超精密加工; 误差补偿; 加工精度; 机床;
入库时间 2022-08-18 00:43:34

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