激光烧结金属粉末制造微型机械的研究

摘要

采用激光直接烧结微细金属粉末技术制造3维微型机械.分析了采用不同激光器进行烧结的优缺点,总结了多种工艺参数,包括激光功率密度、扫描速度、离焦量对烧结精度的影响,并给出部分烧结样件以及多种材料集成的扫描电镜显微照片,同时提出采用电子束烧结亚微米级粉末成形微米级3维微型机械的设想.