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超光滑基底表面污染微粒的激光清洗技术

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随着超光滑表面质量的不断提高,表面清洗已成为超光滑基片制造过程中的一项重要工序,并且成为影响产品合格

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来源
《中国机械工程》 |2000年第10期|1138-1141|共4页
作者
史兴宽; 徐传义; 王健;
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作者单位

西北工业大学,西安市 710072;

西北工业大学,西安市 710072;

北京航空工艺技术研究所,北京市 100024;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类车削加工及车床（旋床） ;
关键词
超光滑表面 ; 激光辅助清洗; 污染微粒; 机理;

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