关于微机电系统研究

摘要

微机电系统是面向21世纪的新科技.由于目前尚处于开创时期,人们对它还缺乏统一的全面认识.试图对微机电系统产生的背景、组成特征、发展现状及应用前景进行全面分析.在此基础上,提出和论述了未来发展中的几个关键问题.