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MEMS尺寸效应的分析模型及应用

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摘要

论述了尺寸效应的内涵及其对微电子机械系统(MEMS)基础理论研究的重要影响;提出了广义尺寸效应、狭义尺寸效应,正效应、负效应及其判据;建立了狭义尺寸效应的分析模型,从尺寸泛函的绝对值、相对值和对尺寸的灵敏度三个方面进行泛函分析.将该模型应用到两端固支多晶硅微梁的弯曲测试,分析结果与实验相符.

著录项

来源
《中国机械工程》|2004年第7期|632-635|共4页
作者
韩光平; 刘凯; 褚金奎;
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作者单位

西安理工大学机械与精密仪器学院,西安,710048;

郑州航空工业管理学院工业工程系,郑州,450052;

西安理工大学机械与精密仪器学院,西安,710048;

西安理工大学机械与精密仪器学院,西安,710048;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类机构学;
关键词
微电子机械系统; 尺寸效应; 泛函分析; 分析模型;
入库时间 2023-07-24 21:04:52

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