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陶瓷微加工工艺及陶瓷微反应器的制作研究

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摘要

研究了一种制作微陶瓷器件的快捷、方便、低成本的方法.利用同步辐射曝光、深紫外曝光或者注塑的方法,制作出带有微结构的模具,加入经过处理的陶瓷粉,通过模压后,脱去基片,在1500℃烧结成形,可以得到精度在几十微米的微结构.利用该工艺制作了微陶瓷反应器.

著录项

来源
《中国机械工程》|2005年第z1期|459-461|共3页
作者
王俊; 郭育华; 朱学林; 刘刚; 田扬超;
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作者单位

中国科学技术大学国家同步辐射实验室,合肥,230029;

中国科学技术大学国家同步辐射实验室,合肥,230029;

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中国科学技术大学国家同步辐射实验室,合肥,230029;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类机械制造工艺;
关键词
微陶瓷器件; 微陶瓷反应器; 光刻; 注塑;

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