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多晶硅薄膜材料参数的在线测试系统

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摘要

建立了一套多晶硅薄膜材料参数的在线测试系统.系统包括测试结构物理版图、测试设备和计算软件,能够在线测试多晶硅薄膜的主要材料参数,且测试设备和测试方法都与集成电路测试相兼容,即所有物理量的测试都转化为电学量的测量,整个测试过程完全由计算机控制完成.

著录项

来源
《中国机械工程》|2005年第z1期|427-429|共3页
作者
刘祖韬; 黄庆安; 李伟华;
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作者单位

东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096;

东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096;

东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096;

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正文语种 chi
中图分类调整、测试;
关键词
多晶硅; 薄膜; 材料参数; 在线测试;

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