粘度对含纳米粒子溶液冲蚀单晶硅表面的磨损影响

摘要

利用高分辨透射电子显微镜和原子力显微镜观察了含SiO2纳米颗粒溶液冲蚀硅片的表面损伤,考察了纳米颗粒碰撞单晶硅片所导致的微观物理损伤.结果表明,硅片经历一定时间冲蚀后,表面可见纳米尺度的凹坑和划痕,并发现一定厚度的非晶损伤层.抛光液粘度从1.2mPa*s增加到16mPa*s时,冲蚀后硅片表面损伤逐渐变得轻微,对应的表面凹坑最大深度从4nm减小到0.5nm,表面损伤层厚度从约12nm减小到4nm.