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韩光超; 张海鸥; 王桂兰; 任俊;
华中科技大学材料成形与模具技术国家重点实验室,武汉,430074;
抛光; 游离磨料; 工业机器人; 软质抛光工具;
机译:磁磨料整理工艺硅晶片抛光的数值实验研究
机译:化学超声辅助磁性磨料抛光工艺的实验研究
机译:金刚石颗粒固定磨料抛光工艺特性的实验研究-优化颗粒放置对产生工件表面形状的有效性验证
机译:混合磁磨料机器人复合抛光工艺的实验研究
机译:氮化硅球的无粘结磁性磨料抛光(UMAP)的实验研究。
机译:氧化铝磨料颗粒行为对MEMS MR抛光影响的实验研究
机译:自由曲面的校正磨料抛光工艺
机译:评估松散磨料研磨和抛光中关键变量依赖性的框架
机译:使用固定的磨料抛光垫和铜层化学机械抛光解决方案的铜化学机械抛光工艺,特别适用于固定的磨料抛光垫进行化学机械抛光
机译:使用固定磨料抛光垫和专门用于固定磨料化学抛光的钨层化学机械抛光溶液的钨化学机械抛光工艺
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