压电微动机构的电荷反馈控制技术研究

摘要

研究了压电微动机构非线性回滞的形成机理,建立了压电陶瓷电荷量与机械应变之间的数学表达式.为减小压电微动机构的非线性回滞环,采用电荷反馈控制方法对压电微动机构进行控制.实验结果表明,与传统的电压激励方式相比,采用电荷反馈激励方式,压电微动机构的回滞环减小了50%,线性度提高了35%.