微米级电化学加工关键技术研究

摘要

针对微米级电化学加工的关键技术问题,研制了用于微米级电化学加工的纳秒脉冲电源,并利用电化学腐蚀方法,在自制的电化学加工机床上连续实现了微细工具电极的制作和工件的加工.基于试验提出了微细电化学加工间隙的检测控制方法,提高了加工过程的稳定性,增强了定域蚀除能力.在低浓度酸性电解液中实现了微米级的电化学加工,利用研制的纳秒脉冲电源,根据加工电流将极间间隙控制在5μm左右,加工出了"NUAA"字形,每个字母高90μm,宽60μm,字母线条的宽度只有20μm.