圆形压电振子弯曲变形数值模拟与实验

摘要

为准确计算圆形复合薄膜压电振子的弯曲变形量,利用弹性薄板变形理论建立了压电振子弯曲变形挠曲线方程,对影响振子变形量的参数进行了数值模拟分析,得到增大振子变形量的方法,通过实验测试了不同尺寸振子准静态振幅和幅频特性.分析和测试结果表明:为了增大振子变形量,可增大驱动电压,增大陶瓷片与基板直径比;当陶瓷片与基板厚度比为0.8时,振子变形量最大;在保证黏结强度的情况下,胶层厚度越小,振子变形量越大;圆形压电振子在谐振点处振幅仅为静态变形量的5%～10%,准静态振幅为静态变形量的50%～60%.