10个脉冲飞秒激光作用下硅的热影响分析

苗恩铭

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10个脉冲飞秒激光作用下硅的热影响分析

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使用Ti:sapphire飞秒激光(波长为800nm,周期为130fs)在空气中对晶体硅的进行作用,并通过扫瞄电子显微镜测试材料表面加工结果,对飞秒激光作用材料时产生的热影响规律进行了分析.以加工孔为研究对象,论证了飞秒激光在实际加工中的热影响不能完全被忽视的结论,同时给出了10个飞秒激光脉冲对加工孔表面形貌尺寸的热影响规律,获得了保证孔加工质量的最佳激光能量参数范围.

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来源
《中国机械工程》|2009年第15期|1869-1872|共4页
作者
苗恩铭;
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作者单位

宁波工程学院,宁波,315016;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TH161.1;
关键词
飞秒激光; 激光能量密度; 一维双温扩散模型; 扫描电子显微镜;
入库时间 2023-07-24 21:04:44

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