一种片外驱动微拉伸测量技术研究

摘要

针对微尺度下构件的力学性能测量问题,搭建一种片外驱动微拉伸测试装置.该测试装置具有高精度的力载荷与位移检测能力,精度分别达毫米级和亚微米级;可在线标定装置的刚度系数,利用弹簧串联模型获取试样的拉伸变形.在微构件轴向对准、夹持方面采用凹凸台载物片与松香-乙醇溶液粘合的方式,有效提高了微拉伸测试技术的精度、可靠性与重复性.利用该装置可测量微构件的弹性模量、断裂强度等力学性能.用该装置测量了单晶硅梁在(110)晶向上的弹性模量,并分析了装置的测量误差.