一种光机洁净精密装校设备设计与研究

摘要

分析了大型激光器下装模块的光机洁净精密装校流程和功能要求,提出了适合我国大型激光器装置特点的下装模块光机洁净精密装校设备的设计方案,解决了光机洁净精密装校过程中下装模块的装校精度、洁净闭环、安全保护等关键技术问题,并进行了样机设计、生产制造、装校调试和验证考核.结果表明:该设计方案可行,满足了大型激光器的下装模块光机洁净精密装校要求.