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电子束3D打印动力学模拟计算

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机译:电子束3D打印光路仅由1个螺线管和1个偏转磁铁构成,虽然其结构简单,但是要求束斑尺寸达到0.1mm左右,这对于10mA/60kV的强流低能电子束的难度很大,特别是光路还要求大角度偏转。对于无偏转光路,采用Trace3D对光路进行动力学计算的结果如图1所示,螺线管场强为103G。电子束传输过程中的电荷中和率为0.1%,即电流实际流强为10 mA,电荷中和后的流强为0.01mA,所得束斑半径为0.09mm。

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