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同位素电磁分离实验平台真空控制系统设计

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机译:在同位素电磁分离实验过程中,真空室的真空度需维持在(1~4)×10-3 Pa。因此,需要配备一套真空系统来维持真空度。同位素电磁分离科研实验平台的真空系统主要由预抽真空系统、主抽真空系统和辅助真空系统组成,其中预抽真空系统主要由预抽泵、罗茨泵、预抽阀等组成.

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