国产MEMS压力传感器正在进入高端应用市场——2010年度中国电子学会电子信息科学技术奖获奖企业昆山双桥专访

摘要

在军事工程、化爆试验、石油勘采与试井、土木工程学、岩土力学、创伤医学、液压动力机械试验等科学试验与现代化仪器仪表中,需要不失真地测量一些变化频率高、压力波形上升快陡的动态压力波形与幅值、有效值,要求所用压力传感器具有较高的固有频率、极短的上升时间和宽广优良的响应频带，以保证足够的动态测压精度。