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YSZ/Si薄膜的化学溶液沉积法制备研究

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摘要

为了在一定的基板上生长出性能优越的YBCO膜,需要首先在基板上生长出合适的缓冲层(buffer layer)后,再在其上制备YBCO膜.本论文采用化学溶液法制备Y0.15Zr0.85O δ/Si缓冲薄膜,研究不同退火温度和膜厚对其取向和微结构的影响.

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来源
《中国化工贸易》|2012年第9期|119,130|共2页
作者
郝洪荣;
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作者单位

皖西学院材料与化工学院,安徽六安237012;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
YBCO膜; 缓冲层(buffer layer); 化学溶液法; 取向;

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