硅粉中的杂质Al对三氯氢硅合成转化率和系统运行稳定性的影响

摘要

本文阐述了在三氯氢硅合成工艺中，工业硅粉中的杂质Al含量对三氯氢硅合成转化率和系统运行稳定性的影响，并以实际生产数据为依据，从经济损失的角度需要严格控制其硅粉中的杂质Al含量，以提高生产系统运行的稳定性，降低检修成本。