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SnO2/ZnO及ZnO/SnO2双层膜的气敏性质

         

摘要

采用动态脉冲法研究了SnO2/ZnO及ZnO/SnO2双层膜的气敏性质.结果表明:选择合适的膜厚及膜厚比,可获得灵敏度及选择性良好的气敏元件.讨论了一些影响双层膜气敏性质的因素,结合元素的扩散,初步解释了膜厚与灵敏度的关系.

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