对插型阵列微带电极的制作及其电化学特性研究

摘要

用微电子光刻方法制作了对插型阵微带电极（ＩＤＡ），并通过ＳＥＭ对ＩＤＡ电极进行了表征，将微Ａｇ／ＡｇＣｌ参比电极和微铂丝对电极固定在ＩＤＡ电极附近，构成了微电解池，考察了该电极的循环伏安及计时电流特性，并用微带电极的扩散理论和Ｃｏｔｔｒｅｌｌ 公式对ＩＤＡ电极的准稳太电流进行了处理，指出了它们之间产生偏差的原因，研究了ＩＤＡ电极的“发生－收集”效应，测定了该电极的屏蔽因子、反馈因子和收集效率。