化学气相沉积法制备ZnO纳米结构薄膜及其SERS活性研究

摘要

化学气相沉积（CVD）是合成各种形态ZnO的最有效的方法之一．目前认为这种方法主要经历了气固过程或气液固过程，即蒸发源材料在升温过程中汽化，蒸汽在特定的温度、压力和原子气氛条件下沉积到基底上，得到了各种形貌的纳米粒子．