BST铁电薄膜的制备、应用及其研究进展

丁历; 廖恒成; 姜云峰

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综述了钛酸锶钡(BST)铁电薄膜的4种制备工艺:磁控溅射(Magnetron sputtering)法、金属有机物化学气相沉积(MOCVD)法、脉冲激光淀积(PLD)法,以及溶胶-凝胶(Sol-Gel)法.并介绍了BST铁电薄膜在动态随机存储器、非致冷红外探测器热成像、移相器等方面的应用及其研究进展.

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来源
《化工时刊》 |2005年第11期|54-57|共4页
作者
丁历; 廖恒成; 姜云峰;
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作者单位

东南大学材料科学与工程系,江苏,南京,210096;

东南大学材料科学与工程系,江苏,南京,210096;

东南大学材料科学与工程系,江苏,南京,210096;

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正文语种 chi
中图分类合成树脂与塑料工业;
关键词
钛酸锶钡(BST); 铁电薄膜; 制备;

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